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硅烷

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硅烷

  • 所屬分類:電子氣體

  • 點擊次數:
  • 發布日期:2018/08/14
  • 規格:
  • 類型:
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  • 詳細介紹

Silane 硅烷(SiH4

Total Purity 純度≥99.9999%

氣相雜質Vapor Phase Impurities

Contaminants雜質


Specifications(ppm)規格

O2+Ar

Oxygen+Argon氧氬

<0.05

Total Chlorosilane

Total Chlorosilane總氯硅烷

<0.15

Disilane

Disilane乙硅烷

<0.5

CO2

Carbon Dioxide二氧化碳

<0.05

CO

Carbon Monoxide一氧化碳

<0.05

He

Helium氦氣

<1

N2

Nitrogen氮氣

<1

H2

Hydrogen氫

<20

O2

Oxygen氧

<0.05

CH4

Methane甲烷

<0.05

Carbon

Carbon碳

<0.2

Disiloxane

Disiloxane二硅氧烷

<0.5

Methylsilane

Methylsilane甲基硅烷

<0.5

As

Arsenic砷

<0.005ppb

B

Boron硼

<0.02ppb

P

Phosphorus磷

<0.02ppb

K

Potassium鉀

<10

Resistivity

Resistivity電阻系數

>10000ohm-cm

H2O

Moisture水

<0.5

包裝規格Standard Package Information

Cylinder Type氣瓶規格

47L、Ton-cylinder、20ft ISO-Container、40ft ISO-Container

Fill Weight充裝量

10kg、100kg、2000kg、4000kg

Valve Connection閥門

JIS22L、CGA-632、CGA-350

 


本文網址:http://www.293228.live/product/681.html

關鍵詞:南京標準氣體,南京高純氣體,南京電子氣體

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