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高純氣體氖氣的分析標準和分析儀器

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高純氣體氖氣的分析標準和分析儀器

發布日期:2016-07-27 作者: 點擊:

隨著現代微電子工業的不斷發展,市場對高純氣體氖氣的純度要求也越來越高,已達到99.999%。目前國內關于氖的標準只有GB/T?。保罚福罚场保梗梗埂都兡省?,氖氣純度最高為99.995%。而國際上也沒有對高純氖氣的統一標準,只是一些國外的大公司,如美國的APCI、德國的Messer有公司自己的技術指標。工業上采用液氖冷凝法分離制成高純氖氣,但由于氖氣、氦氣的沸點十分接近,分別是-245.9和-268.9℃。


高純氣體1.jpg


    氖氣比氮氣的沸點還要低,所以制成的氖氣都會含有微量的氦,因為二者相似的物理化學性質,工業上關于高純氣體氖氣中微量氦的分析一直是工業生產中檢測的難點。針對這些問題,需探索一種新的檢測方法對氖氣中存在的微量氦氣進行測定[2-7]。本研究通過以氖氣作作氣,以系列標準氣為樣品作回歸曲線,得到直線的截距值就為載氣中氦的量。

    高純氣體氖氣的實驗儀器與樣品標準物質實驗選用了GC-122型氣相色譜,上海儀器分析總廠;熱導檢測器(TCD);色譜工作站,N2000,浙江大學智能信息工程研究所。色譜柱選用直徑為3mm、長3m 的5A 分子篩,六通進樣閥。日本島津的GC-14B 和GC-14C 氣相色譜,N3000色譜工作站。氣體分離的原理是:因性質不同,氣態物質分子在色譜柱分子篩上的吸附-脫附能力也不同,隨著在色譜柱上的連續運行,氣態分子在柱內的移動距離慢慢發生差異,最終彼此分開,由TCD檢測器檢測出不同氣體的保留時間和峰面積。



本文網址:http://www.293228.live/news/371.html

關鍵詞:南京標準氣體,南京高純氣體,南京電子氣體

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